薄膜材料的热导率评价将变得极为简便

日本Advance Riko公司推出的纳米薄膜热导率测试系统是唯一使用2ω方法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用系统。與其他方法相比样品制备和测量极为简单。

1. 在纳米尺度衡量薄膜的热导率

开发出监测周期加热过程中热反射带来的金属薄膜表面温度变囮的方法从而通过厚度方向上的一维热导模型计算出样品表面的温度变化，极为简便的衡量厚度方向上热导率（日本专利：5426115）

不需要咣刻技术即可将金属薄膜（1.7mm×15mm×100nm）沉积在薄膜样品上。

1. 热设计用薄膜热导率评价的最佳选择

low-k薄膜，有机薄膜热电材料薄膜

2. 可用于评价熱电转换薄膜

当使用频率为f的电流周期加热金属薄膜时，热流的频率将为电流频率的2倍（2f）如果样品由金属薄膜（0）-样品薄膜（1）-基体（s）组成（如图），可由一维热导模型计算出金属薄膜上表面的温度变化T(0)

假设热量全部传导到基体，则T(0)可由下式计算：

式中实部（同相振幅）包含样品薄膜的信息如热量全部传导到基体，则同相振幅正比于(2 ω)0.5薄膜的热导率（λ1）可由下式给出：

（m：斜率，n：截距）

3. 基體材料：Si（推荐）

4. 样品制备：样品薄膜上需沉积金属薄膜（100nm）