工艺上一般认为poly的CD就是最小线宽

朂小线宽一般是指版图设计时的最小尺寸 当然，在工艺上这些极限尺寸一般用于光刻套刻的对准游标上。

从器件来讲主要是指栅极長度（一般，栅极长度小于栅极宽度） 从加工精度来讲，主要是指套刻精度（最小间距）；最小线宽是引线孔尺寸 因为并无统一的看法，仅供参考

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