FBAR（film bulk acoustic resonator）fbar滤波器器具有小型化、高Q值、高工作频率、较大的功率容量和可集成性等优点它是替代SAW（surface acoustic wave）fbar滤波器器的下一代fbar滤波器器，也是被业界认为最有可能实现射频模块全集成化的fbar滤波器器 \n\t基于FBAR谐振单元的基本原理，本文研究了不同机电耦合系数下AlN-FBAR单元的阻抗特性仿真了电极厚度修正对器件工作频率的影响；建立了Au-AlN-Mo结构FBAR单元的Mason模型，并根据建立的模型和最简单的阶梯型fbar滤波器器结构研究了串并联单元的面积比以及fbar滤波器器级联节数对fbar濾波器器性能的影响，得到了具有较好传输性能的5节级联fbar滤波器器结构在此基础上研究了引入介质损耗后5节级联fbar滤波器器的传输特性，優化后FBARfbar滤波器器仍具有优异性能；针对FBARfbar滤波器器研究了机电耦合系数变化对fbar滤波器器传输特性的影响，估算出了机电耦合系数可允许的變化范围为研制高取向度的氮化铝压电薄膜提供了理论指导。 \n\t根据FBARfbar滤波器器的仿真计算结果本文研究了获取高取向度AlN薄膜的方法，研究了薄膜的表面粗糙度、成分和薄膜表面形貌和界面形貌并研制出了C轴取向、摇摆曲线半高宽为4.5°的高取向度AlN压电薄膜，满足FBARfbar滤波器器嘚技术要求