有什么办法可以找到生产治具和夹具中漏填的地方,并传回坐标?如探针识别、CCD识别等,如何操作?

本发明提供校准方法、针尖位置檢测装置和探针装置,能简化多个探针高度检测工序并以短时间且高精度检测,而且能提高检查信赖性该校准方法包括:对半导体晶片(W)和多个探针..

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