【摘要】：正 众所周知,七圈法即莫尔条纹错位法,刻制元光栅采用此方法可以减少零点闭合误差,提高元件的精确度,而且可以在普通刻机上进行刻制我所使用七圈法,是在TKF 500刻機和TFF 1000刻机上,分别刻制了2700条线/周,和5400条线/周以上的普通光栅(如每周800
32400等等)。下面仅举两个实例供有关单位参考例一我们在刻速率转台光栅时,第┅块发现有零点闭合误差存在,第二块改用七圈法刻制,消除了零点闭合误差。刻第三块时将机床重新调正,减小了轴系间隙,用一圈法
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